凈化車(chē)間為要控制溫濕度的主要目的是什么

　　在紊流潔凈室中，風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進(jìn)行的。為確保污染物被清楚，無(wú)塵車(chē)間的各個(gè)部分必須均實(shí)現良好的空氣混合。在單向流凈化車(chē)間中，為保證關(guān)鍵區域達到潔凈的水平，其送風(fēng)直接來(lái)自過(guò)濾器。

　　凈化車(chē)間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，首先應該考慮人的舒適感。隨著(zhù)空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。