潔凈無(wú)塵室內該如何防止微粒子污染呢？

　　1.不攜入在無(wú)塵室內不攜入微粒子的方法有：

　　1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機臺、零件攜入前應進(jìn)行清潔處理；

　　2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著(zhù)不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無(wú)塵室。

　　4）機器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。

　　5）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　2.不發(fā)生在控制大污染源--人在無(wú)塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì )造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì )有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：

　　1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

　　2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

　　3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

　　4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

　　3.不儲備若能*實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無(wú)塵室內的潔凈度就可以維持。但現實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動(dòng)，在廣大的無(wú)塵室內要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì )依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩定的氣流會(huì )使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。無(wú)塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過(guò)濾器即可容易達到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現場(chǎng)由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。在高等級的無(wú)塵室中從天花板到地面，*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內將室內空氣和*過(guò)濾空氣*交換所計算出來(lái)的數值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有準確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻，因為在流通路徑中有障礙物的話(huà)，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(cháng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內，而一部分會(huì )附著(zhù)在周邊機器設備的表面而引起污染?？刂茪饬骺煞乐刮⒘Ｗ永鄯e，但對于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。無(wú)塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過(guò)濾器即可容易達到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現場(chǎng)由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

　　4.潔要求

　?。?）清潔潔凈室內的墻時(shí)應使用潔凈室無(wú)塵布；

　?。?）用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；

　?。?）使用已獲批準的潔凈室去污劑；

　?。?）每天都要檢查車(chē)間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。

　?。?）每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí)，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開(kāi)始。

　?。?）清潔潔凈室的地面應使用拖把。

　?。?）在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過(guò)濾器的真空吸塵器。

　?。?）所有的門(mén)都需要檢查并擦干